二手 KLA / TENCOR 80-00100 #9141855 待售

KLA/TENCOR 80-00100是一种先进的晶片测试和计量设备，用于对半导体晶片上的薄膜层进行精确、自动化的测量和分析。该系统模拟晶片上设备的实际响应，使用户能够快速准确地测量晶片上薄膜和结构的厚度和其他特性。它还能够检测制造过程中造成的缺陷，支持资格鉴定和工艺控制操作。KLA 80-00100单元由一个主机和一些独立的头部模块组成,每个模块都包含测量过程所需的组件。大型机采用高精度光学机器获取数据和数据处理。光学器件能够在传输、反射和发射模式下工作，其设计目的是确保测量的最大准确性和可重复性。头部模块包括运动控制器、扫描电动机、光学元件、传输和成像传感器以及照明光源，它们都配合控制头部相对于晶圆的位置。此外,磁头能够安装许多附件和镜头,从而使用户能够为特定的测试应用程序配置该工具。TENCOR 80-00100资产随测试计划和执行所需软件一起交付。它能够进行薄膜和缺陷的组合测量，以及提供精确的三维表面和轮廓映射的IC结构。用户还可以对模型进行编程，以运行参数跟踪、过程监控和过程配方的模拟等操作。80-00100设备因精密、精密、自动化运行，在半导体行业得到广泛应用。它是高度可配置的,并且可以适应各种测试应用程序。它还被认为是可靠的数据输出，为设备开发和工艺优化提供了宝贵的见解。