二手 KLA / TENCOR 8250 #293799671 待售

KLA / TENCOR 8250
ID: 293799671
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM).
KLA/TENCOR 8250是一款功能强大的晶圆测试和计量设备,旨在为半导体行业的晶圆提供高性能、可靠的测试和精确的计量。该系统结合了成像和光学特性以及广泛的计量能力,如晶圆计量数据的自动审查以及定制标准和规格限制。该单元由KLA 8250 Mainframe、Wafer Handler、Vision Machine和Thin Film Processor四个组件组成。TENCOR 8250 Mainframe是工具背后的引擎,控制其他系统的运行并提供结果的数据分析。晶圆处理程序是一种自动资产,用于检查、运输和定位晶圆在计量室中进行检查。视觉模型包括一系列摄像机,这些摄像机使用不同角度捕捉晶圆的图像,用于精确监控。最后,薄膜处理器可以独立定位和测量设备表面的缺陷。8250设备配备了一系列精密的计量工具,包括光学检查、用于3D成像的共聚焦显微镜和能够测量薄膜参数的归档努力("FEL")。FEL允许测量薄膜厚度和均匀性,还可以估算设备层中元素的浓度。此外,该系统可以同时测量多达六十个特性,包括地形、薄膜沉积、电击穿和电移动特性。为了进一步满足制造过程的需要,该单元有能力定制测试的规格限制和标准。这样就可以对数据进行高效和可靠的分析。该机器还与数据库软件兼容,用于将质量数据输入到客户定义的文件格式中。KLA/TENCOR 8250提供无与伦比的晶圆测试和计量技术。其广泛的功能、先进的计量工具、可自定义性和软件兼容性使其成为半导体行业的必备产品。凭借其先进的技术,KLA 8250是一种高度精确可靠的工具,可确保在生产过程中保持一致的设备性能。
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