二手 KLA / TENCOR 8450 #9316171 待售
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ID: 9316171
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
With PRI AUTOMATION GT6.
KLA/TENCOR 8450晶圆测试和计量设备是一个通用的自动化平台,专为高级半导体器件的测试和计量应用而设计。该系统甚至能够识别和表征晶圆表面上最复杂的缺陷。它具有广泛的非接触式电容测量技术和强大的扫描功能。KLA 8450单元具有高度精确、自动化的视觉和轻量化功能。它是用先进的成像机使用明场和暗场技术来识别表面TOP原子掺杂物的放置和复杂的缺陷,还可以测量结构特征的原子高度和大小。该工具能够检测纳米范围内的复杂模式微电路。它生成详细的3D可视化,然后用于分析迭加和轮廓注册信息。该资产具有集成数据采集模型(DAS),该模型针对高速数据捕获和分析进行了优化。DAS提供快速、准确的结果,并且可以在较长的测试期间存储大量数据。对于完整的设备解决方桉,系统提供可选的NanoMeasurement Unit (NMS)。NMS为精确测量纳米结构提供了先进的纳米尺度计量学,允许测量尺寸特性。TENCOR 8450机器提供了最高水平的准确性、可靠性和性能。它是一个强大的、可扩展的解决方桉,允许灵活和适应各种先进的半导体器件。8450凭借其尖端技术,为半导体技术的测试和计量应用提供了有效的解决方桉。
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