二手 KLA / TENCOR 8450 #9316173 待售

ID: 9316173
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM).
KLA/TENCOR 8450是一种晶圆测试和计量设备。该系统以先进的光学和晶片浸入能力,设计用于高效、可靠、准确的晶片级测试。它是用于晶圆测试和测量的全自动套件,非常适合任何大型生产级工艺或研究实验室。KLA 8450使用先进的光学单元快速检测、测量和监视包括关键和复杂的设备结构在内的广泛测试结构。此外,它还具有测量高频晶体管、光波导、晶体管和其他光电子等专用设备的灵活性。TENCOR 8450机器提供快速晶圆扫描和图像捕获,以及高孔径比,从而提高吞吐量。此外,精确的计量工具可确保可重复的结果,从而实现生产质量控制和提高产量。该资产还提供多种模式和特征形状及大小,并且为了进一步的灵活性,它配备了业界领先的工具测量技术选择,如椭圆偏振、100KV SEM和光谱学。8450兼容检测器、瞄准镜和图像扫描仪等一系列工具类型,以及通量、倾斜度和反射率模块选项。该模型还配备了一个VariTherm加热器,该加热器为过程中每个晶圆扫描提供精确的热管理。此外,设备的精密自动化确保了最高的准确性和可重复性。它还配备了一个大型监视器,可以立即查看结果并访问实时和存储的图像、测试数据和警报日志。综上所述,KLA/TENCOR 8450是一个先进的、全自动的晶圆测试和计量系统。高性能光学器件、出色的自动化能力和广泛的测量技术使其成为生产和研究用途的理想选择。其强大的功能提供了实现最高产量所需的准确性和可重复性。
还没有评论