二手 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #293607188 待售
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KLA/TENCOR Acrotec 6020是一种最先进的晶圆测试和计量设备。它结合了广泛的高级计量功能和强大的软件选项,为改进过程控制和获得对产量限制参数的关键见解提供了平台。它提供了准确和可重复的测量,并提供了最少的操作员干预、可靠的晶片处理以及自动对准和检查。该系统具有明场、暗场和激光照明成像工具的组合，分层在5轴级之上，以各种角度精确处理晶片。KLA Acrotec 6020采用精确调谐激光和自动对焦技术，能够测量薄膜和热氧化层的厚度和轮廓。它利用最新的成像和信号处理技术、多维频谱分析以及一系列复杂的算法来提供业界领先的模式识别功能。凭借其完全可配置的硬件设置,TENCOR 6020提供了对许多不同材料和过程的自动非接触测量。它旨在测量各种尺寸的半导体晶片上的线宽、刻面角、蚀刻深度等参数。该单元还能够处理最困难的测量，如分析低对比度目标和复杂的结构几何。此外,该机器还利用高级缺陷检测工具（如高级模式匹配算法）,来识别和表征可能导致屈服损失的缺陷。它的统计过程控制算法允许及时检测过程漂移，以及更好地决定产品产量。Acrotec 6020是一种功能强大、准确的晶圆测试和计量工具，提供可靠的数据和可重复的结果。其先进的光学成像和测量能力，加上精密的软件算法，使其能够高精度地测量各种材料和工艺参数。KLA/TENCOR 6020具有测量各种参数的能力和卓越的缺陷检测能力,是当今竞争激烈的半导体行业优化工艺性能、提高产量和控制成本的重要工具。
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