二手 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #9292406 待售
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KLA/TENCOR Acrotec 6020是一种先进的晶圆测试和计量系统，旨在进行高精度缺陷检测和评估。利用其自动扫描和成像技术，它提供了现代晶片和基板制造所需的最高分辨率和准确性。其自动晶圆扫描系统精确检测、表征和记录晶圆表面从粒度到微粒度的缺陷。利用采用扇形采样的先进OptiGauge缺陷检测模式，可以检测和分析各种类型的保护性涂层，包括抗蚀性涂层和屏障涂层。用户友好的界面和图形显示，加上自动统计和统计分析，为统计控制的测量和评估创造了一个易于使用的环境。KLA Acrotec 6020具有高精度晶圆定位；快速响应晶片边缘检测传感；全场扫描能力；先进的图像插值能力，优化图像质量；以及用于高精度缺陷检测和分析的先进成像算法。其晶片对准和修剪功能旨在满足业界最高分辨率的要求,确保晶片的最佳定位和精确对准,以实现均匀的测量。TENCOR 6020采用最新的晶圆计量和检验技术。它配备了几种自动成像模式，包括晶片3D成像的聚焦扫描模式、缺陷扫描模式和监视器扫描模式。焦点监视器扫描以螺旋方向拍摄图像,提供360度曲面视图。Acrotec 6020的图像分析模块包括多种测量、分类和分析功能，允许用户轻松查找和评估缺陷中心。TENCOR Acrotec 6020得到了包括OASIS、PATRIOT和CORAIS在内的一整套晶圆测试和计量软件的支持。OASIS软件支持精确的粘附、应力和污染测试结果,而PATRIOT应用程序提供统计过程控制,用于高精度晶圆测量。CORAIS模块支持多层成像和应力映射,提供可靠的缺陷识别和报告。KLA 6020晶片测试和计量系统提供了最高水平的晶片缺陷检测和评估效率和准确性。利用其自动扫描和成像技术，它提供了市场上最彻底、最精确的晶圆检测和分析。
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