二手 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #9299334 待售

ID: 9299334
Flat panel inspection system.
KLA/TENCOR Acrotec 6020晶片测试和计量设备利用光学技术和先进算法对晶片进行测试、辐射硬化和高性能半导体材料的高精度、高带宽表征和分析。该系统为晶片的地下分析提供了一种耐磨、高效的方法,并提供了一整套软件、硬件和测量工具,可以进行详细、方便和可重复的计量测量和数据分析。KLA Acrotec 6020具有大视野,具有高横向和垂直分辨率,并提供了广泛的运动范围来测量各种晶圆边缘形状。它包含光学变焦和自动聚焦,以及先进的图像处理技术,可以进行精确和可重复的测量。它还具有二维激光位移传感器,用于先进的平面和临界尺寸(CD)测量。该单元结合了高速、多角度的成像机和强大的3轴扫描头,每次运动可穿越7 cm2以上,允许较高的采样率。它还能够在每次测量时生成多达两GB的未压缩图像数据,从而大大提高了准确性和可重复性。此外,TENCOR 6020还配备了功能强大、直观的标签和注释工具包,使用户能够快速识别和注释晶圆上的特征以进行数据比较。它还允许对多个大型晶片组进行自动特征比较,并且可以连接到联网计算机以传输结果或利用非现场分析。计量工程师、研究人员和技术人员可以利用Acrotec 6020来测量、表征和分析各种晶圆和辐射硬化材料。其精确和可重复的测量,加上其直观的标签和注释能力,使其成为晶圆测试和计量实验室的宝贵工具。借助KLA/TENCOR 6020,对晶片进行先进、高效的分析现在比以往任何时候都更容易、更容易获得。
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