二手 KLA / TENCOR / ADE 7600 Surfscan #9410326 待售
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KLA/TENCOR/ADE 7600 Surfscan是一种先进的自动化晶圆测试和计量设备,可提供通用和先进的半导体测量、检验和屈服增强应用。该系统利用高级晶圆检测、计量、电气测试、OBIRCH、高级缺陷分类和自动缺陷审查功能,实现最高级别的缺陷检测和分类。该设备采用最先进的算法,以500倍以前系统的吞吐量提供最大的产量和生产率。KLA 7600 Surfscan利用了独特的三维光学采集技术，该技术针对透晶片光力学进行了优化。它提供了无与伦比的计量分辨率,使高级计量和深度分析能够提供实时的交叉晶圆可比性。这也可以有效地比较蚀刻过程以进行过程控制和故障排除。该机先进的缺陷分类引擎融合了缺陷签名和特性的综合库，提供了自动缺陷分型、准确的假阳性检测以及变异的表征。此外,它还能够对关键尺寸（CD）进行分类,例如via、contact、line-width和depth。ADE 7600 Surfscan还包括功能强大的自动缺陷审查（ADR）解决方桉,可实现高级缺陷审查操作,包括缺陷聚类和屈服性能分析,以及集成的分类引擎和OBIRCH。这为各种应用程序提供了最高水平的生产效率和质量控制。该工具全面的硬件和软件包包括一个全面的硬件库和高级应用程序平台,其灵活性足以满足客户的所有需求。此外,它还具有自动化的远程操作、可联网的数据库以及与各种CAD系统的兼容性。该资产支持200 mm和300 mm晶圆尺寸,其紧凑的设计使用的空间最小,因此部署成本效益很高。总之，7600 Surfscan是最先进的晶圆测试和计量解决方桉之一。其先进的计量和缺陷检测功能,加上广泛的硬件和软件选项,提供了最高的吞吐量和准确度水平,以实现最大的产量和生产率。
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