二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #293662989 待售

KLA/TENCOR ADE 9500是一种晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆过程分析中的精确测量。它是监测和控制关键流程参数的一个创新的、成本效益高的解决方桉。KLA ADE 9500作为基于扫描电子显微镜的计量系统运行，使用反向散射电子图像来测量基板、图样材料和介电层的特性和轮廓。它利用3 D成像的优势，提供增强的表面地形分析和精确的计量，以持续监测晶圆处理。TENCOR ADE 9500具有自动化的多光束柱,能够精确测量高速跨大型晶片的多个位置。该单元配备了最新的扫描电子显微镜技术，如低真空成像（LVI）和亚微米分辨率。这项技术有助于生成高分辨率二次电子图像，从而便于对晶片进行详细分析。该机还融合了先进的算法和光学，使其能够准确检测缺陷，如沉积、蚀刻和沉积系统中的空隙、划痕和划痕。自动测量可提供快速可靠的晶圆测试和计量数据,帮助生产线工程师和工艺工程师优化生产过程。该工具使用直观的用户界面和易于跟踪的图形显示进行操作。ADE 9500旨在提供可靠且可重复的测量、快速的吞吐量和自动尺寸调整。由于该资产支持范围广泛的样品类型，如半导体晶片、玻璃晶片、非正方形晶片和电路板基板，因此可以用于多种应用，无论是在研究中还是在工业环境中。KLA/TENCOR ADE 9500是晶圆工艺分析的一个非常通用、高效的模型,为晶圆的高效检测和分析提供了必要的灵活性和准确性。它是晶圆产量优化和成本降低的有力工具。