二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9169420 待售

KLA/TENCOR ADE 9500是一种晶圆测试和计量设备，能够进行先进的缺陷检测和分析。该系统采用多种技术来检查和表征各种基板上的缺陷,包括光掩模、晶片和平板显示器。KLA ADE 9500单元利用高级光学、硬件和软件的组合,可以精确测量特征大小、线宽以及缺陷大小和位置。它由KLATrimax TM Imaging Machine提供动力,能够提供高达10纳米的高分辨率特征图像。此外，还使用光学反射计精确测量各种材料的反射率。定制的模式识别工具在检查过程的各个阶段提供缺陷类型和信号的自动识别。TENCOR ADE 9500资产旨在识别和分析即使是最具挑战性和要求最高的集成电路设计中的缺陷。它能够检测和测量表面地形高度在10到4,000埃之间的缺陷。由于这些信号与工艺产量密切相关，ADE 9500模型实现了改进的工艺控制和产量优化。KLA/TENCOR ADE 9500设备使用方便，可以针对特定应用快速设置。它还提供各种自动化级别，从配备手动基板装载和卸载的半自动化到全自动原位系统。该系统还集成了Metrology Manager软件包，使工程师能够通过实时SPC软件查看晶圆表面并分析缺陷数据。此功能允许工程师快速评估各种缺陷信号,提供可操作的信息以帮助优化制造过程并提高产量。KLA ADE 9500单元是一个全面、高性能、用户友好的工具，提供精确的缺陷检测、分析和过程控制。它非常适合半导体IC和平板显示器,并为工程师提供识别工艺问题、减少检查时间和提高总体产量所需的信息。