二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9170555 待售

KLA/TENCOR ADE 9500是半导体工业中使用的晶圆测试和计量设备。它是在整个晶圆制造过程中快速测量工艺参数的有力工具。它可以测量层和层的厚度、特征的深度、特征的宽度以及多个电子束参数。它还包括一个内置的测试库和针对特定过程量身定制的计量配方。KLA ADE 9500具有高运动范围、精确的计量精度和快速的系统响应时间,可提供灵活、快速、可靠的测试和计量。它是由扫描电子显微镜（SEM）、电动级和定位单元紧密集成而成。该站由机动化台阶和定位机组成，是测试和测量样品的关键部件。SEM从多个不同角度查看样品的表面,而电动级允许进行高级测量所需的极其精确的运动。TENCOR ADE 9500还包括多项高级功能,如AutoFocus,一种用于测量设备平整度和粗糙度以及层厚度和粗糙度的自动方法。测量控制套件允许通过用户友好的图形界面自定义所有测试和测量。此外,还提供了层映射功能,以正确测量高精度层的厚度。ADE 9500具有开放的体系结构,能够与其他仪器和控制系统集成,如扫描探针显微镜（SM）、舞台自动化系统和各种计算机。此外,它与多用户系统高度兼容,以实现灵活、快速和可靠的测试。综上所述,KLA/TENCOR ADE 9500是一种晶圆测试和计量工具,具有一整套用于精确测量各种工艺参数的功能。它具有高精度和高速度,能够在快速响应的情况下进行复杂的测量。它与其他系统高度兼容，为整合多种仪器提供了开放的架构。