二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389842 待售

KLA/TENCOR ADE 9500晶圆测试计量设备是一种前沿工艺控制解决方桉，旨在为半导体晶圆生产提供精确、可靠、准确的测量。该系统提供自动化软件、硬件和测量功能的组合,帮助制造商通过实时流程优化提高产量。KLA ADE 9500单元由几个组件组成，包括自动测量站（AMS）、扫描电子显微镜（SEM）、模式识别机（PRS）、自动缺陷分析（ADA）、缺陷审查工具（DRS）、质量数据控制器（MDC）。AMS是一个自动化的实时测试和计量站，它以高精度测量晶片的电气和物理特性。SEM是一种高分辨率成像资产，可以检测、表征和识别晶圆表面的缺陷。PRS用于检测晶圆中缺陷的模式并对其进行表征。这使得制造商可以优化工艺配方以减少排便。ADA允许快速识别难以通过SEM检测到的孤立缺陷。DRS是一个软件工具,它提供了一个用户友好的界面,用于查看来自多个来源的图像和数据。质量数据控制器（MDC）是一个功能丰富的软件应用程序,它集成了所有模型组件以进行有效的数据收集。MDC允许对整个生产线中的产品和其他数据进行门控、测量和缺陷审查。MDC存储和处理数据,与现有技术充分合作以创建端到端流程解决方桉。借助TENCOR ADE 9500设备，运营商可以在整个生产周期内快速实时解决缺陷，带动工艺效率和提高产量。ADE 9500还包含可追踪性和安全的数据存档功能,确保严格遵守行业标准。因此,用户受益于提高的流程可靠性和改进的晶圆厂吞吐量。