二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389853 待售

KLA/TENCOR ADE 9500是一种最先进的晶圆测试和计量设备,几乎适用于与半导体器件晶圆和子装配测试有关的所有应用。该系统为晶圆探测和晶圆映射提供了广泛的功能，利用车载计量设备，如光学显微镜和干涉仪，快速测量和评估特征大小、形状和均匀性。KLA ADE 9500配备了高精度运动单元，既提供X-Y，也提供theta旋转，允许在广泛的晶圆类型上精确映射特征。该机包括一个高分辨率的分配控制器，提供晶圆运动工具的控制，以及一个多通道可交换硬件平台，提供各种晶圆特性的板载同步测量能力。TENCOR ADE 9500的Expert Asset Automation软件套件允许预先编程的晶圆探测序列和过程，以及全自动测试过程。对于完整的自动化模型,ADE 9500具有机器人晶片加载/卸载功能,允许进行大容量晶片测试,以及集成的数据管理系统来记录、存储和分析测试数据。KLA/TENCOR ADE 9500的其他特性包括具有自动环境控制和监控功能的温度和主动湿度控制、用于精确缺陷分析的多传感器分析模块,以及晶圆和组件应力分析,提供静态和动态应力分析功能。KLA ADE 9500还可以提供先进的3D显微镜功能,以便对各种特征进行快速、精确的3D成像和分析。TENCOR ADE 9500强大的功能集使其成为许多半导体应用的理想解决方桉。ADE 9500从快速、精确的成像、传感和数据收集功能,到精确的计量活动,可在各种晶圆上提供可靠的结果,并提供满足现代半导体开发需求的能力和灵活性。