二手 KLA / TENCOR / ADE Ultrascan 9600FA #9181889 待售

KLA/TENCOR/ADE Ultrascan 9600FA是一种集成晶圆测试和计量设备，有助于提高半导体的质量。该系统具有先进的光学计量平台,可对晶圆、模具和薄膜的地形和表面进行精确的非接触式测量。KLA Ultrascan 9600FA提供快速、准确的测量和高吞吐量,使用户能够快速、准确地评估晶圆特性。ADE Ultrascan 9600FA将高度自动化的晶圆探测和精确的非接触式光学计量结合在单个集成平台中。这一单元配备了6148个可以精确定位在晶片表面上方测量模具参数的光学探测器，以及能够实现纳米级分辨率的光学计量。TENCOR Ultrascan 9600FA除了具有探测和光学功能外,还具有晶圆处理子系统,能够在机器的XY级快速、稳健地移动晶圆,从而实现高效的样品处理。Ultrascan 9600FA由KLA ImageMap技术提供动力，它可以提高测量表面地形的精度。此工具的高分辨率能够捕获极其精细的细节和高强度特征,使其成为检查模具级特征的理想选择。该资产具有自动化的3D成像功能,可轻松捕获来自各种基材的地形数据。KLA/TENCOR/ADE Ultrascan 9600FA的分析能力包括快速傅立叶变换（FFT）以及特征形状和形状测量的专利技术。FFT分析晶片表面上特征的频率和强度并允许识别特征,而特征形状和形状测量则允许更精确地测量小特征和过程。除了强大的光学和计量能力外，KLA Ultrascan 9600FA还配备了内置控制器GPI/O，以及用户友好的软件包，允许用户定制测量和分析。该模型能够测量各种参数，如步高、WAT粗糙度和线展函数。ADE Ultrascan 9600FA是确保半导体行业质量的重要工具,为客户提供了巨大的价值。