二手 KLA / TENCOR AIT 1 #293751594 待售

KLA/TENCOR AIT 1 SURFSCAN是一个全自动的计量解决方桉平台，设计用于半导体行业的测试和计量应用。该设备提供精确、可重复的晶圆特性测量,如图样、迭加和线宽。该系统使用先进的传感器和多重相互注册技术，从一系列基板上捕捉精确的测量和数据点。Surfscan AIT 1提供高分辨率、重复性和准确性的基板精确非接触式扫描。该单元支持测量包括硅片、平板、液晶、有机和有机-无机溷合基板在内的各种基板。该平台采用模块化设计,并针对快速吞吐量和较低的每测量成本进行了优化。这台机器能够处理各种尺寸的晶圆，并通过一个集成的亚成像板审查站提供终极保护。自动化过程允许使用广域光学成像工具、Overlay Diagnostic资产和其他根据应用程序而定的测量技术进行精确、可重复的数据收集。其集成的形状识别和分类功能可实现精确、可重复的曲线测量以及轮廓测量、自上而下的表面图像,以及对字形、缺陷和其他类型特征的反射检查。要一次处理多个数据集,AIT 1模型具有一个自动配置文件提取模块,可以提取诸如进程窗口、宽度和线宽等特征。通过集成此设备,操作员能够快速高效地准确确定设备或结构的关键特性。例如，高速Overlay注册系统能够每小时处理多达200个晶圆。这对于需要快速、频繁地测量数据的最终用户是有益的。它与KLA AIT1 SURFSCAN单元一样强大和强大,还具有很大的灵活性。光学可以很容易的为各种任务而改变和机器配备了多种配置能力的过程窗口，阈值，测量，可重复性，和其他重要参数。所有这些功能,加上其高质量的自动化计量,使Surfscan AIT 1成为半导体制造商的一个有吸引力的选择。