二手 KLA / TENCOR AIT 1 #293824441 待售
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KLA/TENCOR AIT是一种最先进的晶圆测试和计量设备。它用于分析单个晶片和器件的电气和物理特性。该系统提供高分辨率、大规模的成像功能,以及自动缺陷检测、电气测试数据分析和用于高级过程控制的3D迭加模型。该单元利用可调谐激光源，如固态紫外线或激光二极管，以及各种测量头，包括接触剖面仪、非接触剖面仪、散射法和光学显微镜。机器可以测量薄膜厚度、粗糙度、薄膜均匀度、轮廓角度、电气特性等工艺参数，如电阻、漏电电流、击穿电压等。该工具采用高级软件和高容量计算平台设计，以快速、精确、可靠的方式提供自动化的数据分析和控制。通过将高分辨率成像和扫描技术与精确的光学仪器相结合，KLA AIT提供了前所未有的计量和测试性能水平。资产的功能可以针对不同的应用程序和行业进行定制。TENCOR AIT提供了多种分析工具,包括图像分析算法、无损测试（NDT）工具、物理分析工具、参数提取工具和3D迭加工具。该模型的图像分析功能包括先进的成像技术,如光学缺陷检测、图像缝合、图像关联、阵列缺陷检测和电子亮场成像。无损检测工具测量材料和器件的各种物理特性，如介电常数、电阻率和介电击穿。物理分析工具用于以非接触方式测量材料的物理特性,例如液滴与固体表面之间的接触角度。参数提取算法可用于测量多种参数，如线宽、步高、接触区域和寄生电容。3 D迭加工具可以测量迭加精度以及迭加性能监控。该设备具有先进的用户友好界面,从图形用户界面（GUI）到基于文本的命令行界面（CLI）。该系统还与其他设备无缝集成，如流程监控工具、可编程逻辑控制器（PLC）和机器人设备，允许自动晶圆测试。AIT是半导体制造的理想解决方桉,提供全面的性能、质量保证和准确性。该单元可靠、用户友好,并为自动缺陷检测和分析提供了广泛的功能。它也具有很高的适应性，可以针对各个行业进行定制。
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