二手 KLA / TENCOR AIT 1 #9022108 待售

ID: 9022108
Inspection system.
KLA/TENCOR AIT 1是为半导体工业设计的领先晶圆测试和计量设备。它为硅晶片提供了广泛的光学检测和计量解决方桉,包括先进的缺陷检测、地形测量、晶片级材料表征和表面计量应用。该系统拥有大量自动化功能,能够比以往任何时候都更快、更准确地执行精确测量,从而提高用户的生产效率,最大限度地提高半导体制造过程的盈利能力。KLA AIT 1配备了多种光学元件进行一系列光学测试,包括扫描电子显微镜(SEM)、光学亮场成像(OBFI)、光谱成像(SI)和光学3D计量(3DM)。其制图算法的高清晰度允许检测晶圆表面极小微妙的特征,使得缺陷检测极为精确准确。它还提供了在晶圆上定义的矩形或圆形区域中对地形和/或材料进行测量的能力。此外,该设备的软件还具有功率谱密度(PSD)分析能力,能够快速准确地分析大面积数据,提高光学测量校准精度,改进缺陷检测。TENCOR AIT 1先进的检测计量能力套件,使其成为半导体行业强大可靠的机器。它能够进行广泛的测试,包括:3 D表面地形表征、晶片级改变测试、模模和层对层界面缺陷测量、无损测试、薄膜计量和3 D表面轮廓测量。此外,它有能力查明和描述各种类型的模式和缺陷,包括颗粒污染和电化学迁移,以及准确地探测和重建表面材料。AIT 1还为用户提供了适应其特定需求和应用的灵活性,因为它可以轻松地与外部系统和外围设备集成,从而进一步提高其功能。还提供了几个对齐包,使工具能够在多个晶圆上精确对齐生产批次并达到纳米精度。此外,该资产还为高可靠性半导体制造应用程序的高通量全天候运行提供了可靠的性能和收益,并配备了一个全面的服务平台,可确保用户快速响应和轻松维护。综上所述,KLA/TENCOR AIT1是为半导体行业设计的强大可靠的模型,提供先进的缺陷检测、地形测量和晶圆级材料表征。该设备拥有丰富的功能和自动化功能,能够为半导体制造过程提供最大的生产效率和盈利能力。
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