二手 KLA / TENCOR AIT 1 #9086398 待售

KLA/TENCOR AIT 1是一种晶圆测试和计量设备，设计用于检测半导体晶圆上的缺陷。该系统在前端制造过程中运行,为工程师提供快速、准确和可靠的缺陷检测。该单元由集成测量单元（IMU）、扫描晶片级、数字光路和缺陷检测工具四个部分组成。IMU由三轴电机控制机组成，可以精确定位晶片级进行扫描。这样就可以精确测量缺陷大小,只需在毫米范围内。扫描晶片级是晶片放置在要扫描的平台。它由一个机器人控制的两轴平移级组成，能够在大面积上快速移动。扫描级有两个高精度的线性换能器跟踪晶圆级，产生晶圆表面的地图。数字光路，或称光头，然后用来收集舞台产生的光，分析计算每一个缺陷的位置和大小。然后使用此数据检测缺陷。最后，缺陷检测工具是一种基于算法的工具，用于分析收集到的数据，识别和分类缺陷，以便进一步检查。KLA AIT 1工具设计用于一次分析整个晶片表面，并对发现的每个缺陷提供详细的检查信息。由于资产是自动化的,因此可用于手动和自动检查。自动检查对于一致的结果极为有用,因为它们不容易出现人为错误。该模型还能够与其他系统（如模拟、过程控制或光刻等）连接,以提供有关缺陷大小、形状和位置的准确信息。总体而言，TENCOR AIT 1晶片测试和计量设备是一种可靠且用户友好的半导体缺陷检测解决方桉。该系统提供准确、精确和全面的结果，可用于改进制造工艺和提高产量。