二手 KLA / TENCOR AIT 1 #9214537 待售

KLA/TENCOR AIT 1是一种晶圆测试和计量设备，旨在提高半导体芯片的质量和产量。该系统由晶圆检验和计量产品的领先供应商KLA开发。KLA AIT 1单元是一种自动化的非接触式机器，旨在测量整个晶圆表面的物理和电气参数。该工具在一个平台中结合了三种计量技术：宽带反射计（BBR）、3D表面地形（3DST）和电子束感应电流（EBIC）。BBR用于测量整个晶圆表面上的层厚度、界面宽度和深度。这使制造商能够控制介电间隙厚度和均匀性，以及光刻胶层轮廓的表征。3DST利用激光测量整个晶片的高度轮廓，使制造商能够识别晶片表面的不规则性。EBIC使用电子检测任何短路或穿过晶圆打开。这有助于检测任何工艺缺陷，如门氧化物短裤或加工变化。资产还包括用于分析收集的数据的软件包。它包括一套用于测量整个晶圆表面各种参数的工具。软件允许用户设置阈值和其他选项,以便将模型自定义到其特定应用程序。它还提供报告功能以快速查看结果。此外,设备的用户界面直观、用户友好,便于设置、调整和监控系统。TENCOR AIT 1单元是半导体行业广泛应用的理想选择，如集成电路质量控制、工艺表征、产量改进、工艺开发等。其非接触式测量技术和先进的软件包使制造商能够提高准确性和降低成本。