二手 KLA / TENCOR AIT 8010 #293778201 待售

KLA/TENCOR AIT 8010是为大体积半导体制造而设计的晶圆测试和计量设备。它提供了广泛的功能,并为需要薄膜、氧化、蚀刻、沉积和其他关键应用的精确数据的生产线提供了全面的计量解决方桉。该系统专为200 mm和300 mm晶圆上的计量应用而设计,可用于200 mm、300 mm和400 mm晶圆。它有一个自动晶片处理单元，它允许快速和精确的加载和卸载晶片。该机器还包括一个高分辨率的3-D成像工具，能够捕捉精确的超高分辨率图像。KLA AIT 8010提供了一系列测量功能。它包括一个板载光学显微镜，能够使测量到0.1nm分辨率。它还具有集成的参数化和多参数化功能，如薄片电阻率和掺杂密度测试。此外,该资产还支持NV中心测试和互连测试。TENCOR AIT 8010包含一个高度复杂的软件包,其中包含用于分析、控制和数据管理的工具。此软件使用户能够轻松配置和控制测量参数,并及时获得结果。该模型还提供了一整套报告选项,能够生成各种格式的报告,包括PDF和HTML。除了测量能力外，该设备还提供了一系列的样品制备选项。这包括精密清洁、切割和处理晶片的能力。该系统还为高级安全和可靠性而设计，具有直观的用户界面和全面的安全功能。AIT 8010为薄膜、氧化、蚀刻、沉积等关键应用提供了全面可靠的解决方桉。其精密的光学、自动化的测量系统和直观的软件包使其成为大容量半导体制造的绝佳选择。