二手 KLA / TENCOR AIT 8010 #293795048 待售

KLA/TENCOR AIT 8010是用于半导体工业发展的最先进的晶圆测试和计量设备。它将高级计量功能与自动晶圆测试相结合,使其成为监测多个加工阶段和提高产品产量的理想工具。KLA AIT 8010基于K-Space Metrology（KSM）平台，采用高分辨率、非接触式激光干涉测量来测量3 D Warp/CDH（宽度、高度和径向）地形。KSM技术为系统提供了高度精确和可重复的测量范围，最大可追溯精度为0.5nm。这样就能够精确测量晶圆表面信息，然后对其进行分析，以提供对不同工艺步骤中微观结构变化的宝贵见解。它还提供了出色的自动化功能,使无数晶片能够快速轻松地进行测试。该装置配有全自动速度定位机以确保快速准确的操作，以及全自动的样品处理工具以确保精确的样品放置。通过提供高速、高分辨率成像和定量缺陷分析的可调光场光学资产,实现了高级成像。此外,TENCOR AIT 8010采用强大的多用户数据管理模型构建,该模型与基于Web的安全服务器同步,可轻松访问、共享和存储数据。这样就可以实现无缝协作,同时从世界各地的工作站访问数据。总体而言,AIT 8010是一种多功能的晶圆测试和计量设备,它将先进技术与自动化过程相结合,以帮助最大限度地提高晶圆性能和质量。它是一个强大的解决方桉,旨在满足当今半导体技术的苛刻要求。