二手 KLA / TENCOR AIT 8010 #293824573 待售
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KLA/TENCOR AIT 8010是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在提高工艺产量并确保更高质量的设备。它旨在取代传统的基准计量系统，成为一个更有效和可靠的解决方桉。该系统配备了功能强大的多区域3 D映射子系统，允许快速分析多个晶圆测试指标。它能够一次最多8个图样化的晶圆度量，数据采集可以在模具级别进行。由于设备的动态光源，这些图样被快速地以大小和方向独立的格式绘制。KLA AIT 8010还采用先进的扫描电子显微镜（SEM）进行快速可靠的结构缺陷分析。这样就可以自动对小缺陷及其位置进行高分辨率分析。它还可以在单个扫描中检测单个晶片上的多个缺陷，从而导致更快的分析和更少的浪费。由于其扫描显微镜技术，机器还可以进行晶片级缺陷审查，识别和分类晶片上存在的任何异常，而无需任何体力劳动。此外，该工具能够快速分析细小的光刻缺陷和较小的岩心位移等细粒度指标。TENCOR AIT 8010还具有提高吞吐量的功能。聚焦离子束（FIB）技术允许对缺陷进行快速修剪以进行更高效的分析，而低功率电子显微镜则可以同时对多个芯片进行实时分析。该资产还配备了自动化的样品加载机器人，减少了设置时间，并最大限度地减少了样品加载和卸载中的人为错误。总而言之，AIT 8010是一种功能强大、可靠的晶片测试和计量模型，旨在准确、快速地检测和分析晶片上的缺陷。该设备应用范围广泛，从半导体到MEMS和芯片。凭借先进的FIB和SEM技术,KLA/TENCOR AIT 8010有望提供快速一致的结果,帮助提高工艺产量和质量。
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