二手 KLA / TENCOR AIT 8010 #9278596 待售

KLA/TENCOR AIT 8010是一种先进的晶圆测试和计量机器，能够检测和测量半导体工业中晶圆基板的缺陷。这套先进的系统将高速成像与集成模式识别算法相结合，以检查大量晶圆并识别过程相关缺陷，如空隙、晶界、划痕和非均匀半导体层。KLA AIT 8010利用多种成像系统对大面积晶片进行全面分析。它具有两个高速CMOS线扫描相机和一个双场扫描电子显微镜（DF-SEM）。DF-SEM是系统的一个关键组成部分，具有广阔的视野，能够检测到小到10纳米大小的微小缺陷。这台机器是由一个直观的用户界面驱动开发的，以简化晶圆检查过程，使其简单和高效。它包括板载缺陷分析软件,可自动处理来自高速CMOS摄像机和DF-SEM的图像。然后,软件将晶片划分为不同的目标区域,并将图像与一组预先定义的要求进行比较,从而能够快速检测任何异常特征。为了质量控制，TENCOR AIT 8010还包括用于测量光学、电气和组合物特性的专用传感器。这些传感器提供有关晶片厚度、晶粒尺寸和电气特性的详细信息。还可以使用激光干涉仪完成超蚀刻深度的亚微米范围测量。AIT 8010旨在满足各种需求,可以通过多种方式进行配置。它能够处理直径不超过200 mm、厚度不超过500 mm的晶片,其自动化的舞台移动和自动聚焦功能可确保在各种样品位置和尺寸上进行高分辨率测量。总体而言，KLA/TENCOR AIT 8010是一种可靠、坚固的机器，为半导体工业中使用的晶片提供准确的测试和计量。其先进的成像系统、集成的模式识别算法和专业传感器使其成为复杂晶圆元件质量控制的宝贵工具。