二手 KLA / TENCOR AIT Fusion XUV #9250962 待售
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已售出
ID: 9250962
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Darkfield wafer inspection system, 12"
Handler:
(2) Load ports: ASYST Isoport with FOUP
BROOKS Robot and controller
Main body:
Light source: 90mW UV Laser
Function: DBS, SE
Component: Pillar and blower
2004 vintage.
KLA/TENCOR AIT Fusion XUV是一种先进的晶圆测试和计量系统,旨在以最高的效率提供精确的结果。该系统结合了两个必要的仪器-一个计量SEM(扫描电子显微镜)和一个晶圆检查工具。Metrology SEM提供超高分辨率成像和无损表面下测试功能。这使用户能够对晶圆表面进行详细的微观分析和计量测量。晶圆检测工具采用X射线散射技术,对半导体晶圆表面进行快速灵敏的测量。此外,Fusion XUV还可以配备各种定制夹具和舞台动作。Fusion XUV具有许多功能,使其成为理想的晶圆测试解决方桉。它提供了有助于精确测量和分析的高级算法,以及提供快速可靠结果的高分辨率成像。此外,即使在测试各种晶圆类型时,其可靠的校准也能提供准确的结果。总体而言,KLA AIT Fusion XUV为晶圆测试和计量提供了一个强大而可靠的解决方桉。它结合了先进的成像和计量工具,为它提供了详细分析和精确测量的特殊能力。此外,即使在处理高度复杂的晶圆曲面时,它也很方便用户,并提供可靠的结果。Fusion XUV与其他测试解决方桉相比也有优越的周转时间,使其成为快节奏行业和研究实验室的绝佳选择。
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