二手 KLA / TENCOR AIT Fusion #9211135 待售

KLA/TENCOR AIT Fusion是一种用于半导体晶圆制造的晶圆测试和计量设备。它通过结合KLA和TENCOR两大公司的两个组件来创建一个全面的解决方桉,满足了"一刀切"的需求。KLA AIT Fusion结合了来自KLA/TENCOR的功能丰富的自动化光学检测平台和来自KLA的晶圆级计量系统。在这些组件协同工作的情况下,创建了一个全面的监测和数据分析单元,以便能够以微米精度对设备进行高分辨率、无缺陷的测量。机器的核心是一种基于照相机的成像工具，可以检测到微裂纹、空隙等广泛的晶圆缺陷。该资产与来自TENCOR的晶圆级计量模型相结合，可以精确测量模具级电气参数。这两个组件的集成允许同时测量和审查单个晶片上的设备特性和缺陷。TENCOR AIT Fusion提供高级的过程后分析功能来处理来自这两个组件的数据。此分析允许评估各种参数,如缺陷类型、设备产量和工艺参数。此外,它还提供了一套工具来促进统计过程控制（SPC）和报告生成。AIT Fusion非常适合晶圆制造的开发和生产阶段。它提供了一种准确、全面和高效的方法来测量和鉴定设备,同时支持晶圆检查的审查过程。这种组件和功能的组合使得KLA/TENCOR AIT Fusion成为半导体器件制造中有吸引力的选择。