二手 KLA / TENCOR AIT Fusion #9240636 待售

KLA/TENCOR AIT Fusion是一种晶圆测试和计量设备,它使工程师能够快速、准确和可靠地评估制造工艺以及该工艺生产的晶圆的完整性。它提供了测试、计量和分析工具的组合,以帮助快速、彻底地评估晶圆质量。KLA AIT Fusion系统由几个组件组成,旨在协同工作以提供最佳结果。单元分析模块提供了全面的分析,使工程师能够识别晶圆缺陷或趋势,并确定其对总体产品质量的影响。TENCOR AIT Fusion Detector Module是一种晶圆检测组件，有助于识别晶圆中的小缺陷和异常。视觉检查模块提供对所有晶片的全面目视检查，精度和分辨率都很高。AIT聚变测试模块利用790nm激光技术进行电晶片测试。本模块提供快速可靠的参考和参数化测试,使工程师能够放心地做出重要决策。成像模块提供高对比度成像功能,使工程师能够看到最小的缺陷。KLA/TENCOR AIT融合计量模块是机器的核心部件。它允许工程师使用散射法、光谱法和高级表面分析来测量小至7 um的晶片的临界尺寸。本模块还提供了对表面粗糙度的自动评估,包括对表面粗糙度和异常的测量。KLA AIT融合报告模块提供直观的数据报告和可视化,使复杂的数据易于理解和使用。所有测试结果都会自动编译，并以单一报告的形式呈现，提供晶圆质量和完整性的详细记录。简而言之，TENCOR AIT Fusion是一种综合晶圆测试和计量工具，结合测试、计量和分析工具，提供准确可靠的结果。通过利用先进的激光技术,该资产能够提供有关小规模缺陷和异常的详细数据,使工程师能够根据可靠和全面的分析做出明智的决策。