二手 KLA / TENCOR AIT Fusion #9273897 待售

KLA/TENCOR AIT Fusion是一种先进的晶圆测试和计量设备，提供完整的晶圆检测解决方桉。该系统旨在评估各种晶圆级参数，包括地形、电气和结构特性。它结合了多种精确的光学计量技术和先进的软件，提供高度可靠和准确的测量水平。KLA AIT Fusion单元由晶圆平台、成像机和测量元件组成。这使得它可以同时测量直径达200毫米的晶片的地形和物理特性。这些测量可用于检测表面和内部缺陷并评估产量、工艺均匀性和晶圆几何形状。该工具利用先进的光学资产来捕捉不同放大倍数下晶片不同表面的图像。通过结合高分辨率成像和精密算法，该模型的成像设备能够检测和分析传统自动检测方法无法检测到的晶片表面和地下缺陷等缺陷。该系统还可用于以无接触、无侵入的方式，用晶片探针测量晶片的电性能。晶片探针是专门为晶片级特征的自动检测和表征而设计的。晶圆探头允许用户在不同的上下文中测量晶圆的阻抗、电容、电阻、泄漏电流、功耗和其他电气参数。该股还提供了一套用于数据分析和处理的软件工具。其中包括分析功能,例如配置文件数据的自动处理、解释、自定义报告生成和数据挖掘。该软件还可用于获取第二趋势分析和生成优化数据。TENCOR AIT Fusion机器在半导体工业中被广泛用于研究和生产。它为用户提供了一个功能强大、用途广泛的晶片测试和计量工具，使他们能够以无与伦比的精度和可靠性快速准确地分析现代晶片的表面和电气特性。