二手 KLA / TENCOR AIT I #9173474 待售

KLA/TENCOR AIT I是一种晶圆测试和计量设备，旨在为复杂的半导体器件提供准确的结果。它使用高级软件算法、测试模式库和集成测试平台来自动化和优化测试过程。该系统有助于晶片和基材的研制，并符合稳定和动态测试流程的要求。KLA AIT I结合了先进的成像和反射率测量技术,以检测设备制造过程中或之后的小缺陷或制造错误。它还具有光学显微镜、表面电荷分析仪和HDTV/SEM显微镜来表征新材料或曲线几何形状。可以配置为测量轮廓、厚度、高度和晶格尺寸等参数。TENCOR AIT-I还集成了高通量图像分析（包括边缘检测和纹理分析）,以提供快速和定量的计量数据。此功能有助于减少工艺周期时间并提高晶圆产量。KLA AIT-I单元进一步允许实时监测光掩模缺陷、光刻层缺陷以及入射晶片的测试响应。此外,还可以使用半自动对齐和配准功能来简化掩码与掩码的比较。这台机器还提供了与各种晶圆材料的兼容性，从堆迭到SOI基板。此外,KLA/TENCOR AIT-I可通过各种后端工艺步骤（如沉积、光刻、蚀刻和计量）促进跨平台通信。它为在线和离线质量控制提供每个过程步骤中的计量数据。AIT I提供了一套功能强大的软件工具,用于全面的数据分析。这些工具可用于深入和电阻率映射,以及测试结果的总体概率分布。此外,它还可以在单个测试环境中集成跨不同操作使用的多个测试软件包。AIT-I旨在支持高级应用程序,例如开发用于内存、逻辑和嵌入式设备的细线模式。它对测试精度和可重复性的严格控制进一步确保了大批量生产过程中晶圆产量的提高和故障率的降低。