二手 KLA / TENCOR AIT II #293595222 待售

ID: 293595222
Defect inspection system Dual cassette, 8" with SECS II.
KLA/TENCOR AIT II是为半导体工业设计的最先进的自动化内联晶片测试和计量设备。该系统支持包括205、300和450mm在内的各种晶圆类型。它对包括临界尺寸(CD)、薄膜厚度、蚀刻深度、氧化物厚度和化学机械平面化(CMP)工艺监测在内的各种参数提供可靠和准确的测量。该单元采用光学成像、散射法和计量技术的组合,精确测量复杂的半导体结构。该机与先进的信号处理算法、数据驱动模式识别解决方桉和先进的机器学习相结合。使用这些技术,它可以快速提供比手动测量更准确、更全面的数据。该工具还与一系列全面的软件工具和数据分析工具集成在一起,为用户提供了快速评估关键流程和质量指标的能力。KLA AIT II还提供精确可靠的高通量测试解决方桉。它具有可调视线(LOS)和入射角(AOI)功能,允许用户优化CD测量。该资产还能够识别晶圆表面难以辨认的特征和缺陷,包括颗粒、碎片和变色。这有助于减少可能导致产量损失的错位和不准确的风险。TENCOR AIT II通过其模块化和可升级的体系结构,提供了从工艺开发到生产的高效且经济高效的测试解决方桉。它提供远程支持功能以及可定制的用户友好界面,以便于操作和维护。它还配备了广泛的平台,包括DfX、SPC、Advanced Process Control(APC)等。AIT II是一种创新而强大的晶圆测试和计量模型。它旨在为半导体行业提供可靠、准确和经济高效的解决方桉。设备先进的信号处理算法、数据驱动的模式识别解决方桉以及先进的机器学习能力有助于确保准确的测量和卓越的质量控制。此外,其灵活的体系结构、自定义选项和远程支持功能有助于提供高效且经济高效的测试解决方桉。
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