二手 KLA / TENCOR AIT II #293809807 待售

KLA / TENCOR AIT II
ID: 293809807
晶圆大小: 8"
Darkfield inspection system, 8".
KLA/TENCOR AIT II是一种晶圆测试和计量设备,旨在快速高效地在大面积上精确测量晶圆特性。它特别适合于需要同时测量其许多晶片参数的半导体制造商。KLA AIT II使用成像和分光光度分析的组合,在微米逐微米的水平上测量晶圆的地形及其电性能。它配备了高速激光扫描显微镜,可以对晶圆地形进行精确、实时的测量。系统还有一个自动对焦,调整显微镜自动确定晶圆每一部分的正确焦点,消除测量变异性。这样可以确保对晶片的每个部分进行最高质量的测量。该单元还利用多种光学分光光度法技术来测量每个晶片的电性能。它既可以精确地测量从晶圆表面发出的光,也可以精确地测量该光的吸收和反射。它需要广泛的光谱测量,以便对每个晶片的电特性进行实时分析。TENCOR AIT II由高速激光机、高通量相机和可编程运动控制器组成。这种组合有助于确保每次都能取得准确和一致的结果。它还为方便操作而设计,具有用户友好的图形用户界面,允许用户快速、轻松地设置和运行测试。此外,AIT II还配备了热跟踪功能,使其能够在测试过程中自动补偿温度变化,进一步提高精度。它还具有多种辅助工具,可帮助用户设置测试并收集详细分析所需的数据。这包括自动晶圆对齐工具、晶圆映射程序,甚至是用于故障排除的缺陷数据库。总体而言,KLA/TENCOR AIT II是需要快速准确测量晶片特性的半导体制造商的理想选择。这一高度先进的资产结合了超精密成像和分光光度法技术,以确保每个晶圆都有准确的特征。它还具有方便的调整功能和广泛的支持工具,使晶圆测试和计量更容易和更有效率。
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