二手 KLA / TENCOR AIT II #9227399 待售

KLA/TENCOR AIT II是一个最先进的晶圆测试和计量系统，旨在测量和分析晶圆表面上的设备到纳米分辨率。它能够将几种计量和光学检查技术结合在一个通道中，这使得它能够识别和测量晶圆上不同器件的各种形状、大小和特性，包括晶体管、电阻器、电容器和其他半导体元件。KLA AIT II依靠高分辨率成像的结合，结合光学高级计量，来实现纳米级分辨率。它由晶片级、3D显微镜组件和容纳激光光学、相机光学和控制器的主单元组成。晶片级保持晶片，而3D显微镜组件具有高分辨率物镜，可以测量晶片上微观特征的精确位置。这使得显微镜能够精确测量晶圆表面上元素的形状、大小和其他特性。TENCOR AIT II的主单元容纳了光学元件，包括激光传感器、相机光学元件和控制器。激光传感器利用低功率激光揭示晶圆表面的奇特特征。这种光照亮晶片表面上的特征，使软件能够检测到它们。相机光学器件允许用户拍摄晶圆表面的照片，可以用来创建详细的图像。最后,控制器作为系统的"大脑",控制晶圆级、3D显微镜组件以及激光传感器、照相机和光学器件的运行。AIT II旨在减少晶圆的回收和拒绝,减少周期时间,并提高产量和工艺控制。它能检测到88纳米或更高级别的特征，视野150 mm，是工艺和器件表征的理想工具。它还可以用于在潜在的故障模式成为问题之前识别它们，并帮助制造商消除或减少未来的产量损失。总体而言，KLA/TENCOR AIT II是一个先进的计量晶圆测试和计量系统，可以快速准确地收集数据到纳米级分辨率。它旨在提高设备产量和减少拒绝,使其成为制造运营的宝贵投资。