二手 KLA / TENCOR AIT II #9281087 待售

KLA/TENCOR AIT II是一种最先进的晶圆测试和计量设备。它为各类晶片级检测任务提供了高吞吐量和准确性。KLA AIT II凭借其先进的光学、高精度的运动控制和软件,为晶圆上打印的图样提供了快速、可靠的计量和测试。TENCOR AIT II是结合全场成像能力和扫描电子显微镜（SEM）的溷合系统。它旨在测量晶圆表面上打印的图桉的几何形状、大小、位置、分布和层厚度。该设备能够以每小时5000-10000晶圆（WPH）的速度进行测试。AIT II有一个集成的光学检查模块，最多四个摄像头。摄像机用于捕捉晶片图像和测量图样大小。测量模式后,将其与一组标准进行比较,以确定其是否符合所需的工艺规范。机器的软件还提供各种分析选项,例如线宽测量、板材电阻测量和晶粒尺寸测量。此软件还可用于定义缺陷参数和控制关键尺寸。此外，该工具还采用集成扫描电子显微镜（SEM）来测量晶圆的地形。这有助于确保最佳流程控制,以及了解任何流程故障。SEM还精确检测加工过的晶片表面上是否存在任何污染物或金属薄膜。总体而言，KLA/TENCOR AIT II为晶圆测试和计量提供了最先进的能力。KLA AIT II以其高精度的运动控制系统、先进的光学、模式分析软件和集成扫描电子显微镜，是过程控制和缺陷检测的绝佳选择。