二手 KLA / TENCOR AIT II #9387208 待售

ID: 9387208
Defect inspection system, 8" Laser: 75 mW ASB Open handler Does not include: Computer Calibration wafers.
KLA/TENCOR AIT II是一种先进的晶圆测试和计量设备。该系统提供非接触式光学计量,在晶圆检测中实现高生产率和准确性。此外,它还采用了创新的梁线技术来提高精度和重复性.该装置能够以极高的精度检测图样或其他精细特征中的表面缺陷、污染物和缺陷,是保证晶片生产质量的理想选择。KLA AIT II由紧凑的光学计量工具和用于参数设定、光学对准和数据收集的综合控制机器组成。该工具利用线性比例的X-Y-Z平移,使得三维成像成为可能。该技术还能够扫描各种图形尺寸,图像分辨率高达0.5微米。这允许检测任何可能难以用肉眼发现的瑕疵。该资产采用了几种创新技术来提高图像保真度和图像处理速度。其中包括先进的自动聚焦机构、冗余光源、一组光束线光学器件以及光束路径控制和自展平衡。激光自动聚焦为静态和高速成像应用提供了高精度和扩展的动态聚焦范围。冗余光源提供照明冗余和一致的图像亮度。光束线光学提供了具有精确短波长照明的广域成像和高分辨率成像。光束路径控制允许在大表面积上进行广域测量,并具有快速迭代和图像采集速度。自动密度平衡可在整个成像区域提供一致和准确的照明。这些技术结合起来,为样品鉴定提供了卓越的图像保真度和更高的吞吐量.TENCOR AIT II晶片测试和计量模型为晶片检测和生产提供了一个可靠可靠的平台。该设备的先进技术提供了无与伦比的图像保真度,能够在操作人员参与程度最低的情况下进行精确的测量。先进的光学计量能力使其成为生产应用的理想选择。
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