二手 KLA / TENCOR AIT III #293711267 待售
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KLA/TENCOR AIT III是为半导体器件生产而设计的晶圆测试和计量设备。该系统允许进行各种高精度测量，包括晶片上的电气测试、光学和热测试，以及查明晶片表面上的特定缺陷。KLA AIT III既能够面对生产线的高需求,又能够快速发现任何与过程相关的问题。在全面测试时，它可以处理高达200毫米的晶片，吞吐量高达每小时几百个晶片。该单元旨在防止成本高昂的返工,并快速识别和量化任何与流程相关的问题。TENCOR AIT III能够提供在线和离线测试。它能够进行彩色成像、粒子计数、逐模屈服分析、装箱、光学和电气缺陷搜索、晶圆均匀度测试和线缘粗糙度测量。它还能够从晶圆级测试到芯片级。AIT III由独特的Autofocus软件提供支持,即使在高批量生产中进行测试所需的高数据速率具有挑战性,它也能够快速识别设备。它还具有一个闪存可编程DSP机器，它能够全面的实时分析和过程监控。例如,该工具可以监视过程中的任何模式识别或产生性能问题。总体而言，KLA/TENCOR AIT III是半导体器件生产的强大工具。它提供了大量精确的测量，可以在线和离线使用。其独特的Autofocus软件,加上其强大的DSP资产,使其在设备生产和测试方面具有无价的价值。
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