二手 KLA / TENCOR AIT UV #9054841 待售

KLA/TENCOR AIT UV是晶圆测试和计量的先进工具，为半导体行业提供了完整的解决方桉。它使用高端光学、运动控制和半导体技术来评估各种晶圆的电气、物理和光电特性。晶圆测量和计量设备结合了几种测量技术来确定晶圆的产量、性能和可靠性。该系统包括光谱测量、电阻抗测量、电子束感应电流（EBIC）测量、电容电压（CV）测量、电场剖析（EFP）和光学干涉测量（OIM）等多种复杂的测量工具和技术。这些测量功能用于提供有关晶片的电气和物理特性（如厚度、薄片电阻、掺杂轮廓以及缺陷大小和位置）的准确而详细的信息。设备提供的高级晶圆映射功能使用户能够在广泛的空间尺度上快速准确地检查单个晶圆。该机器用途广泛，能够处理各种晶圆规格，如具有不同热膨胀系数和弓形系数的基板。晶圆映射功能包括具有纳米精度的晶圆的实时对准和分辨率。该工具利用具有强紫外线光源的闭环提供主光束光学计量，并利用CO2激光进行二次光束计量。资产还有一个串联晶片加载模块，一次最多可处理200个晶片。此外，该模型还包括一个元件分析单元、一个用于聚焦和定位光学元件的精确运动控制设备、一个高速信号处理器和一个高速数据采集系统。综上所述，KLA AIT紫外线晶片测试和计量单元利用了几种先进的技术来提供各种晶片的精确测量和分析。它包括具有强烈紫外线光源的闭环机、元件分析单元、运动控制和高速数据采集工具。此外，资产还提供快速、精确的晶圆映射功能，使用户能够快速、准确地检查单个晶圆。