二手 KLA / TENCOR AIT UV #9099586 待售
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KLA/TENCOR AIT UV是一种利用紫外线光源检测和分析半导体晶片的晶片测试和计量设备。该系统用于制造集成电路、内存芯片、晶体管等电子元件。测试单元采用专门设计的大型表征模块，用于检查和评估样品的物理和光学特性。KLA AIT UV机利用与正在制造的晶圆范围相匹配的UV光源。然后将光源与高度精确的仪器包结合使用。测量仪器的特征参数如厚度、薄片电阻率、表面地形、污染、反射率和掺杂浓度。该仪器包还具有测量样品的光学特性如消光系数、总透射率、反射率和吸收率的能力。该工具采用先进的光学成像资产构建,用于测量设备结构和功能的分辨率,并能够提供高分辨率图像。该模型还配备了高灵敏度光电探测器和图像采集装置，以捕获必要的图像。在设备中设计了一种特殊的紫外线显微镜，以方便设备结构和特征的精确测量和定位。显微镜能够扫描多个视野，深度可达25微米。TENCOR AIT-UV晶片测试和计量系统也能够表征各种样品类型。该单位可以测量涂层、玻璃和电介质的光学性质。它还配备了最先进的成像机，可以测量样品表面结构的亚微米振幅频率特性。最后,该工具与高级软件集成在一起,可以快速准确地捕获、分析和报告测量结果。该软件具有直观的用户界面，允许用户实时监控测量并管理测试数据。数据处理和分析工具也可用于预测和高级质量分析。总之，AIT-UV是利用紫外线光源快速准确地评价样品物理和光学性能的综合性晶圆测试和计量资产。它配备了一套先进的仪器、成像系统和软件，用于可靠地表征样本和收集测量数据，用于预测和高级质量分析。
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