二手 KLA / TENCOR AIT UV #9124364 待售

KLA / TENCOR AIT UV
ID: 9124364
晶圆大小: 6"-12"
Automated dark field defect inspection station, 6"-12" For pattern wafers 3-Spot sizes included Standard KLA AIT operator interface monitor Standard KLA AIT operator keyboard Trackball and joystick Standard KLA media devices: FD, CD Drives Operating system: Windows NT CE Marked.
KLA/TENCOR AIT UV是一种自动化晶片测试和计量设备,设计用于精确检测和测量半导体晶片上的缺陷。它用于评估晶片的质量,以满足集成电路(IC)制造工艺的高速和精度要求。该系统基于先进的光学成像技术,具有紫外线和纳米傅立叶变换红外(FTIR)显微镜两种不同的最先进的光学系统。紫外线显微镜捕获高分辨率和低噪声水平的图像数据,而FTIR显微镜则便于化学分析和检测晶圆表面的颗粒。此外,它还配备了自适应、自定位激光扫描技术和自动聚焦装置,用于快速和精确的成像和测量。KLA AIT UV被设计为一种便携式、机载机器,能够测量各种晶圆缺陷,包括坑、划痕、颗粒物、透明颗粒、颠簸和翘曲。也可用于检测异常,进行晶圆表面分析。为了提高灵活性,该工具包括多种工具,如驱动程序、晶圆映射软件和KLA专有的AlignToVision高精度对齐控制。对于高数据保真度,该资产包含数字信号处理器,以支持高级图像和数据处理。为了进一步提高精确度,它采用微机电系统成像技术进行精细关联和高分辨率测量。此外,TENCOR AIT-UV还提供有关晶圆特性的反馈,例如对比度、背景、清晰度、噪声和异常值检测。AIT UV的其他特性包括多种测试模式、通过web界面进行远程操作、强大的模型后备保护以及对各种SEMI标准的支持。这种设备还被设计为满足环境和工业安全要求,允许在恶劣的制造环境中使用。总而言之,KLA AIT-UV是一个强大的质量控制系统,它以合理的价格提供可靠、高分辨率的成像和计量功能。它允许更快、更准确的测量,并提供详细的反馈和见解以提高生产效率。
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