二手 KLA / TENCOR AIT UV #9147837 待售

KLA/TENCOR AIT UV是一种用于自动晶圆测试和计量的先进检测技术（AIT）设备。AIT系统旨在解决为质量控制目的识别和测量半导体晶圆表面上最小缺陷的难题。KLA AIT UV是一个独特的系统，利用紫外线和先进的图像处理算法，以最高的精度检测半导体晶片的表面。该单元利用两个高分辨率摄像机捕捉晶片每一侧的图像，其中入射光和反射光以同心圆排列，可以根据应用和需要选择检查过程的速度。摄像机配置为生成复杂的2D图像,并将这些图像传输到板载图像处理器,该处理器应用专有算法来检测、分类和测量晶圆上的潜在缺陷。捕获的图像可以使用专用软件进行存储和进一步分析。这台机器还具有先进的光学通路，它可以检测缺陷到一个纳米精度。先进的光学透镜用于近距离投射晶圆的高度详细的UV图像，并提供短的工作距离以达到最大精度。它能够检查涂有薄膜、颗粒、其他污染物的晶片或显示层中的缺陷，并提供全面的缺陷分类功能。TENCOR AIT-UV还具有广泛的自动化功能，以简化检查过程。实时缺陷表征、模式识别和晶片排序控制是有助于晶片生产和过程监控的广泛应用的一些功能。此外,强大的自动化功能提供了可重复的测试和测量过程,使操作员能够提高吞吐量并降低人工成本。最后，其直观的用户界面确保晶圆检查过程易于配置和操作，而软件集成促进了工具与其他工业设备的兼容性。该资产旨在满足半导体行业所需的最高性能标准,其高分辨率成像、微观分辨率和自动化的结合使其成为晶圆测试和计量的理想解决方桉。