二手 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228059 待售

KLA/TENCOR AIT UV+是一种晶圆测试和计量设备，旨在为半导体器件制造过程控制提供分析和反馈。它利用先进的紫外线成像技术生成高分辨率图像，用于精确分析。该系统提供了广泛的计量功能,支持从1.5英寸到更大的12英寸晶圆的各种设备产品。在低温沉积过程中，UV+利用多摄像单元同时利用电荷耦合器件（CCD）和高功率紫外线（UV）照明。这种相机组合允许对低至0.36 µm的功能进行成像,并且可以配置为2D或3D成像模式。该机器可用于测量许多参数,包括地形、应力、几何形状、迭加、迭加配准、反射率、接触电阻率和材料层。该工具具有自动识别工具和prober软件,用于全自动分析和分析。资产软件允许对自定义操作进行编程,以执行晶圆测试和分析的特定任务。该模型具有先进的晶圆检测能力，使用专门算法检测包括粗糙度、空隙、模式偏移、桥接和缺失特征在内的模式缺陷。它还可以检查一系列先进材料和先进电路，如碳纳米管和非易失性记忆装置。分析方法还可用于检测和测量其他材料相关特征，如蚀刻速率、阈值电流、晶体管特性和堆迭方差。该设备具有清洁和处理能力，可提高晶圆产量和工艺控制。它还具有使晶圆处理自动化的内置处理过程。该系统具有可编程目标ID等功能,可支持制造和诊断操作的高级日志记录。总体而言,KLA AIT UV+是一个强大而全面的晶圆测试和计量单元,它提供了高级半导体制造过程控制和分析的广泛功能。它提供高精度和可重复的测量,具有可调的灵活性,以确保最佳的最终产品质量。