二手 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228105 待售

KLA/TENCOR AIT UV+是一种高精度晶圆测试和计量设备，旨在对半导体制造业中使用的晶圆进行最精确、最全面的测量。该系统允许晶片制造商精确测量晶片上元件的形状和尺寸，如斜坡、台阶和型材。该单元结合多种技术，创建晶圆性质的综合度量。机器开始使用双光束激光扫描工具精确映射晶圆的形状和特征。激光扫描并捕获晶片表面的图像。然后,此图像将进行分析,以创建曲面特征的3D映射。这是伴随着一个光学检测的全球地形阶段，用于观察表面的整体平坦度。UV+资产包括一项获得专利的紫外线反射技术,该技术可捕获特定于材料的地形测量,从而允许直接相对材料测量。此技术使模型能够以极高的精度测量晶圆厚度、轮廓、步长和树突。该设备还包括一个扩展的多通道选项，用于更全面地测量材料和形状特性。通过包含基于软件的方法控制工具,这种增强的测量能力变得更加强大。这些功能使晶圆制造商能够快速设置和执行针对其生产需求的精确测试协议。KLA AIT UV+系统是一个功能强大且高度精确的晶圆测试和计量平台，能够为半导体工业中使用的晶圆提供精确测量。它结合了激光扫描和紫外线反射技术，确保了形状和材料特性的精确测量，而其基于软件的方法控制工具则能够进行高效和可重复的测试。总而言之，该单元是精确测量晶片上元件形状和尺寸的宝贵工具。