二手 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228106 待售

KLA/TENCOR AIT UV+是一种晶圆测试和计量设备，利用紫外线辐射精确测量晶圆表面上的图样。该系统提供了无与伦比的精确度，视野大约是光学显微镜的40倍。通过非常精确的测量，该装置能够识别出太小而光学显微镜看不到的结构缺陷。机器的核心是先进的光学设计。这种设计使用了一种专利光学技术，称为球透镜映射（Ball Lens Mapping），它允许非常高的紫外线成像分辨率。该工具使用一系列透镜和镜子来收集和聚焦晶圆发出的光，然后将该光分为三个色带（UV、可见蓝色和可见绿色）。数码CCD相机分别捕获每个色带中的图像，以便产生样品的详细图像。KLA AIT UV+还可以执行多种计量功能。它配有一个校准臂，可以测量晶圆上不同结构的宽度和间距。它还有一个自动特征提取引擎，可以测量晶圆上的特征，分辨率低至0.01微米。通过使用此自动化资产,用户可以快速识别、检查和纠正生产过程中的表面缺陷。TENCOR AIT UV++模型极快高效。它具有无与伦比的精度和实时分析功能,能够快速准确地表征晶圆表面上的结构。利用其自动特征提取引擎,用户可以快速准确地检查曲面,从而获得最大的准确性和吞吐量。该设备易于使用，并提供满足半导体行业不断变化的需求所需的灵活性和功能。