二手 KLA / TENCOR AIT UV #9257792 待售
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已售出
ID: 9257792
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
Dark field wafer particle inspection system, 8"
(2) Open cassette wafer loaders
SECS-GEM
High resolution image grab
HLAT
IADC
Patch grab
Real time classification
RTA
Signal tower
Spot size: 2.2 UM
Spot size: 3.5 UM
Spot size: 5 UM
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
(2) Cassette ports
KM-803P-K Wafer cassette 8" PP
No SMIF Interface
Advanced patterned wafer inspection system
Laser: UV Laser for 90 mW (364 nm)
Microscope review objectives: 50x, 100x, 150x
Computer
Image computer
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD)
Wafer handler: Dual open cassette loader, 8"
Robot
Prealigner
Includes:
Pillar module
Blower unit
No PSL 0.494 um wafer
No caltile wafer
CE Marked
2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT UV是一种晶圆测试和计量设备,旨在快速准确地诊断半导体器件中的缺陷。它检查半导体晶片上骰子和模具垫的表面,以揭示和分析潜在的缺陷,如划痕、凹坑、碎屑和空隙。KLA AIT UV利用UV光刻和光学移位技术来定位和检查被检测器件区域的表面。高分辨率物镜能够探测器件区域,检测空隙、裂纹、缺陷等异常。高分辨率成像功能为用户提供了一套功能强大的图像处理工具,用于查看和分析结果。TENCOR AIT-UV可以检查多种格式的设备,包括裸模、封装元件、纤维图案基板以及固化和未固化的显示器。它能够执行非接触式X射线成像,提供无失真放大倍率,并提供关于细线尺寸、晶体管尺寸和其他一些设备参数的反馈。此外,KLA AIT-UV先进的模式匹配技术旨在快速检查被检查设备的各种元素并验证图像。然后,此数据用于确定正在检查的设备与基线设计之间可能存在的潜在差异。KLA/TENCOR AIT-UV还拥有运行各种数据分析测试的能力。这些测试可用于诊断缺陷和分析产量问题,如压模产量和产品质量。它的自动化系统可以在同一个晶片上一通进行多次测试,节省时间和金钱。此外,它还提供了高级计量功能,可用于评估晶圆厂产量数据。AIT UV具有用户友好的软件单元,可简化测试和计量过程。高级用户界面允许用户创建和存储配方,编程多个测试阶段,并在必要时终止测试会话。这使得机器非常灵活和快速-用户可以用最小的努力快速配置和运行测试。总体而言,TENCOR AIT UV是一种用途广泛、功能强大的晶圆测试和计量工具,为用户提供了一种高效准确的半导体器件缺陷定位和诊断方法。该设备具有高分辨率成像能力和创新的模式匹配技术,是对高精度器件区域进行快速检测和分析的理想选择。
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