二手 KLA / TENCOR AIT UV #9285827 待售
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ID: 9285827
晶圆大小: 12"
Darkfield inspection system, 12"
SECS II / GEM Communication interface
High resolution chuck
Image grab feature
Multi channel collection optics system with independent programmable spatial filters and adaptive PMT modules
Image process computer
Blue laser: 448 nm
(2) FOUP Load ports
0.1 Micron detection
Un-patterned recipe capability.
KLA/TENCOR AIT UV是下一代计量设备。其目的是衡量在制造环境下生产的晶片的质量。这是IC生产中必不可少的过程,需要精确的尺寸精度和过程控制。系统使用多种技术在紫外线环境中检查晶片。该技术采用先进的成像、光束剖面图和图桉化能力来测量晶圆表面到纳米精度。这包括光学和声学映射晶片。成像装置采用高性能共聚焦显微镜。这允许比其他系统更严格和准确的分析。其分辨率和精度可以测量到纳米级的表面特征。它能够检测地形、表面光洁度和均匀性。梁剖面仪利用二维梁形测量能力。它能够对晶片表面进行高速、精确的表征。这有助于确保晶片和基板之间存在适当的关系。此外,图样化工具包括一个纳米级检查的特征转移。此过程用于将图样化层从一个基板传输到另一个基板。这有助于改进工艺参数并保持制造所需的精度。这种高性能的计量资产提供了出色的结果和可靠性。它能够测量晶片的关键特性,并有助于确保晶片符合所需的规格。KLA AIT UV是保持晶圆生产质量和优化工艺参数的关键.该模型提供所需的精度、精确度和可重复性,以确保在制造过程中仅使用可接受的晶片。
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