二手 KLA / TENCOR AIT UV #9285844 待售

KLA/TENCOR AIT UV是一种晶片测试和计量设备，在纳米级测量晶片的电性能。它提供晶圆电性能的自动化、无损测量，如击穿电压、电阻和电容，以及以同样高精度提供全方位的半导体计量能力。KLA AIT UV系统由几个组成部分组成.Ultra-Violet相机传感器用于检测半导体结构,从而能够自动查看和测试单个结构。相机使用滤光片检测不同的紫外线波长，提供准确和可重复的测量。该单元包括一个脉冲和偏置控制单元，用于创建晶圆的测试脉冲。这种脉冲电流探针结构（PCPS）能够在重复循环中精确检测和测量半导体特性，包括击穿电压和电荷收集。TENCOR AIT-UV以多种影像模式运作，包括全区域成像、局部区域成像、线扫描成像和影像缝合。每个图像模式都有自己的扫描,具体取决于特定的应用程序。例如，部分面积成像用于测量晶圆上单个设备的性能。线路扫描成像用于测量具有多个设备元件的晶片的电性能，如芯片组。图像缝合用于较大的晶圆结构，其中图像被分割成子扫描以获得更大的细节。机器的图形用户界面（GUI）提供了数据的实时可见性以及它如何受到晶圆测试条件的影响。该工具的多渠道处理功能加快了分析速度,允许用户查看图像和编辑分析策略,同时仍在多个通道上进行测量。Advanced Intelligent Test （AIT）功能允许自动分析测试结果和建议,以调整设置或实验条件。结果可以无缝储存和开采，以便进一步研究。AIT UV是一种用于确保晶圆结构准确电气测量的强大资产。它的高级功能确保了准确的成像,而以用户为中心的设计提供了准确、可重复和可靠的数据。它是半导体研究、设计和制造的理想测试和计量模型。