二手 KLA / TENCOR AIT UV #9285845 待售

KLA/TENCOR AIT UV是一种晶片测试和计量设备，能够对半导体晶片进行先进的尺寸和缺陷检测。它精确准确地测量半导体晶片上结构的宽度、长度、形状和其他特性，以检测非常小的缺陷或不规则性。它配备了独特的紫外线（UV）光源，提供高对比度成像。该系统检测到低至0.5微米的非常小的缺陷，可以测量低至10纳米的特征。KLA AIT紫外线装置是完全自动化的，能够测量晶圆上的平面结构和三维结构。它提供卓越的分辨率、灵敏度和速度,以及诸如自动聚焦于晶圆表面、用于快速测量的内存功能以及同时进行的样本扫描和计量等功能。其先进的显微镜平台基于KLA平台无关的光学，能够同时测量晶圆表面的各种特征。TENCOR AIT-UV还设计用于支持各种晶圆类型和尺寸。它可以配置多个激光器、探测器、照相机和光源，以满足每个应用程序的特定需求。它还配备了一个先进的紫外线窗口，用于快速准确的晶圆测量，以及一个直观的用户界面，允许在应用程序之间快速切换。该机还能够进行图像分析、数据验证和缺陷识别。AIT-UV还配备了先进的计量工具，可以捕获广泛的数据，包括用于精确缺陷测试的3-D地形和3-D成像。它能够同时检查晶片的多个特征，同时提供高速、高精度和可重复性。该工具还能够检测各种缺陷，从小异常到宏观级缺陷，从而实现有效的故障隔离和晶圆修复。总体而言，KLA/TENCOR AIT-UV是先进的晶圆测试和计量资产。它为缺陷检测和特征测量提供了最先进的准确性和灵敏度，并设计用于支持各种晶圆类型和尺寸。其特点包括独特的紫外线光源、先进的显微镜平台、图像分析、数据验证和缺陷识别。AIT UV是一种可靠、高效、多用途的型号,与其他类似工具相比,可提供卓越的成本优势。