二手 KLA / TENCOR AIT UV #9299275 待售

ID: 9299275
Darkfield inspection system Can be configured to 6" / 8" / 12".
KLA/TENCOR AIT UV是为生产级应用而设计的综合性晶圆测试和计量设备。该系统旨在满足半导体工业对高精度和高速晶圆测试和测量的苛刻要求。它由硬件和软件组件组成,共同为用户提供可用的最佳数据收集和分析功能。KLA AIT紫外线利用光学和成像技术对电气、物理、化学和其他晶圆特性进行测量。该单元能够测量晶圆的几何形状、地形、介电特性、表面污染物、电荷和泄漏。它还提供了先进的分析,以识别晶圆特性的精确度和准确性。TENCOR AIT-UV能够高速执行非接触测量。该机设计方便大量数据点的快速测量和分析。它利用精密编码器系统、激光技术和获得专利的多传感器成像平台,以确保数据收集的快速和准确。其高分辨率成像可以捕获晶片上的小特征,并提供自动分类验证的定量信息。KLA AIT-UV还提供自动缺陷检测,对晶圆缺陷如缺陷、裂纹、颗粒和形状特征进行快速准确的分类。它可以快速准确地识别关键缺陷。这是通过先进的成像技术、实时过程控制和复杂的编程算法相结合而实现的。该工具的强大软件工具使用户能够轻松配置和优化AIT UV的晶圆测试和计量数据收集和分析功能。该软件提供用户友好的数据分析,以将结果与制造过程变量相关联,并查找数据中的趋势或模式。这使操作员能够快速轻松地分析产品性能、识别问题区域并采取纠正措施。总体而言,TENCOR AIT UV是一种优秀的晶圆测试和计量解决方桉。它非常精确、快速、可靠。该资产结合了高级硬件和软件,提供了最佳的数据收集和分析功能。它能够为用户提供所需的数据,以确保其产品的性能、质量和可靠性。
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