二手 KLA / TENCOR AIT XP+ Fusion #9145961 待售

KLA/TENCOR AIT XP+Fusion是一款为半导体晶圆制造而设计的高端晶圆测试和计量设备。该系统由一个自动晶片检验计量站（AIT XP）、一个自动晶片锯（Saw 2000）、一个薄膜计量模块（FTM）和一个可变场光学剖面仪（VPP）组成。AIT XP+能够测试和分析多达400毫米的晶圆,传统上在8英寸晶圆上进行的测量速度是原来的20倍。AIT XP+是一个多功能的晶圆计量测试单元，结合了成像能力、先进的光源曝光技术，以及非接触式、高精度的计量。首先，其先进的成像能力使得晶圆检测具有专利算法，以实现高吞吐量和精度。其次，AIT XP+的创新光源技术确保特征被精确检测和测量，即使在晶圆的极端边缘。第三,FTM光源具有独特的轮廓统计信息,可提供可靠的质量控制计量解决方桉,提供精确和可重复性。第四，VPP对地形和化学特征提供高精度、可控的非接触测量，如颠簸、划线、锥度和表面化学。KLA AIT XP+Fusion是一台强大的机器，结合了这些技术，使晶圆检测和计量能够快速准确。其先进的设备提供了先进的成像、照明和计量技术，从而能够更快地测量样品并提高检测精度。此外,集成的报告工作流允许用户跨任何参数快速分析其结果。此工具具有多种客户优势,包括提高流程产量、缩短吞吐量时间和提高产品可靠性。此外,利用KLA高级分析技术的AIT XP+提供了无与伦比的数据分析和过程洞察力。因此,TENCOR AIT XP FUSION是确保准确性、可靠性和性能的完美工具。