二手 KLA / TENCOR AIT XP+ #9087846 待售

KLA/TENCOR AIT XP+是一种晶圆测试和计量设备，旨在为掩模车间、晶圆厂和其他半导体铸造厂提供最高水平的工艺控制和资产利用率。它结合了多能量层计量学和大面积成像，能够对复杂的设备特征进行快速和可重复的测量。该系统利用深度学习和人工智能等最先进的计算技术，能够消除粒子和表面检查，减少停机时间。该单元还能够在单个时间点处理多个晶片。该机器利用6层计量来测量设备特征的不同方面,如厚度、几何形状和轮廓,其精度高达14nm。它具有多种特性和功能,可确保精确、可重复的测量和可靠的过程控制。该工具专为独立应用程序和内联应用程序设计,能够通过连续监控和事件控制以及支持边缘控制来进行串联过程控制和监视。过程控制和数据挖掘等附加功能可以更准确地控制过程参数,并提高过程产量。此外,该资产能够自动进行缺陷分类和基于缺陷的过程验证,速度比以前的模型快三倍。其检测传入材料缺陷并对其进行分类的能力为晶圆测试和计量提供了更高效的过程。最后，该模型还有一系列软件和通信选项。这包括两个以太网端口和两个用于外部通信的RS-232端口,以及用于数据收集、分析和报告的可用软件。总体而言,KLA AIT XP+是一款先进、功能强大且可靠的设备,满足业界对晶圆测试和计量的最苛刻要求。它具有多种特性和功能,可确保精确、可重复的测量和可靠的过程控制。它还包括全面的软件、通信和联网选项,以确保系统在几乎所有代工厂环境中的平稳利用率