二手 KLA / TENCOR AIT XP #9122532 待售

KLA/TENCOR AIT XP是一种高度先进的晶圆测试和计量设备,旨在为工艺和产品改进提供可靠和准确的计量数据。KLA AIT XP的核心是晶片级系统,具有内置的RockSolid™autofocus和对齐能力,可确保测量的准确性和可重复性。双轴Z扫描运动可在扫描过程中实现软移动,并消除未对准和失真现象。这项先进的技术还提供了灵活性,并具有可选阶段,可满足高温、低温和低温应用等高级要求。晶圆检测仪配备先进的检测机，由超快光谱成像技术组成，包括先进的照明技术、结构化照明和其他检测缺陷的技术。该工具由高速高级图像分析算法和可靠的后处理来补充，以自动测量一系列缺陷以进行高精度测试。SpectraSouce™软件套件允许对缺陷进行实时纳米级测量,为高级过程控制提供了一个全面的套件。先进的计量资产还包含电子束、临界维度（CD）、迭加和其他计量测量的全部技术阵列。这包括电子束机构、舞台配置和支持快速扫描的设计，精度和低噪声。最先进的软件套件提供全面的测量,如CD、迭加、线宽、表面粗糙度以及具有高级算法后处理功能的轮廓测量。对于光刻和高级工艺控制，TENCOR AIT-XP型号进一步配备了先进的离轴成像设备，支持一系列成像条件和孔径配置。此外,系统还集成了顶级数据分析功能、直观的模式识别方法以及可定制的报告功能。为了确保用户的信心，AIT-XP设备按照严格的质量和可靠性标准进行严格的测试和检查。该机器还得到了安装和使用方面的全面技术支持。因此,用户可以期望提高吞吐量和产量,降低废品和保修成本,并优化过程控制。