二手 KLA / TENCOR AIT XP #9204139 待售

KLA / TENCOR AIT XP
ID: 9204139
晶圆大小: 8"
Wafer inspection system, 8" 1998-2000 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP是一种高度先进和业界领先的晶圆测试和计量设备。这是一个功能齐全的半导体晶片工艺和产率分析观测系统。它配备了先进的光学、图像分析和减振工具。这使得它成为高精度光学测量和晶圆精确分析的选择。KLA AIT XP配备了先进的照明功能,如区域耦合LED照明单元和多波段LED照明照明器,为样品提供明亮均匀的照明。这样可以实现更好的边缘定义和改进的对比度,从而在变化的温度和环境条件下降低图像质量降级。TENCOR AIT-XP还使用强大的变焦光学技术进行光学和图像分辨率重建,从而提高了测量精度。TENCOR AIT XP具有广泛的工艺和产量分析专业能力。它提供了用于检测过程中异常行为的高级CD计量(CDM)和故障点(POF)算法,并指出了产量损失的领域。它还具有Scan Map和Focus Map功能,可量化特定于焦点的semi-3D基准,例如深度精度和非接触剖面图。此外,AIT-XP与KLA和TENCOR检查头模块(IHM)完全集成,使接口与各种IHM模块保持中立,从而为用户提供灵活易用的集成选项。KLA AIT-XP配备了强大的减振工具,在计量过程中提供了卓越的重复性,并最大限度地减少了振动对计量工具的影响。该机还提供温度控制,为样品的测量和重复性优化提供了最佳环境。此外,KLA/TENCOR AIT-XP可用于KLA/TENCOR PathFinder库的独立自动化环境。这提供了一整套自动化工具,包括全面的图形用户界面(GUI)工具和强大的应用程序编程界面(API)。AIT XP晶片测试和计量工具是半导体晶片工艺和产量分析的一项功能强大、功能丰富的资产。从先进的照明和光学到强大的图形用户界面和自动化环境,这一模型提供了全方位的高度先进的能力,用于可靠和可重复的测试和分析。
还没有评论